هر دوپمپ خلاء و کمپرسوردستگاه هایی برای پردازش گاز هستند ، اما اصول کار و دامنه کاربرد آنها متفاوت است.
عملکرد اصلی پمپ خلا از بین بردن گاز از محفظه واکنش برای کاهش فشار در ظرف برای دستیابی به درجه خلاء از پیش تعیین شده است. گاز از طریق مکانیزم مکش و اگزوز از فضا استخراج می شود تا حالت خلاء تشکیل شود. پمپ های خلاء معمولاً در آزمایشگاه ها ، زمینه های تولید و تولید استفاده می شوند. در فاب های ویفر ، تجهیزات اچینگ ، تجهیزات رسوب ، تجهیزات لیتوگرافی EUV ، تجهیزات کاشت یون ، تجهیزات تشخیص و خصوصیات و غیره. همه باید خالی شوند.
عملکرد کمپرسور برای استنشاق گاز و فشرده سازی آن ، افزایش فشار گاز ، فشرده سازی گاز به حجم کمتری و افزایش چگالی و فشار گاز است. اصل کار آن فشرده سازی گاز از طریق دریچه اگزوز و سپس قرار دادن گاز فشرده شده در یک مخزن بنزین یا سایر تجهیزات است. از کمپرسورها معمولاً در زمینه های پردازش و ساخت استفاده می شود. گاز CDA که اغلب در مورد آنها صحبت می کنیم توسط کمپرسور تهیه شده است. CDA برای کنترل تجهیزات و شیرهای مختلف اتوماسیون استفاده می شود. برای تولید نیمه هادی ، CDA باید بسیار خالص و خشک باشد. خروجی هوا توسط کمپرسور برای از بین بردن روغن ، رطوبت و ذرات دیگر باید از یک سیستم فیلتراسیون پیشرفته عبور کند تا اطمینان حاصل شود که آلودگی ویفر وجود ندارد.
دسته بندی چیستپمپ خلاء و کمپرسور?
در تجهیزات نیمه هادی ، معمولاً پمپ های خشک و پمپ های مولکولی استفاده می شود. پمپ خشک به پمپ خلاء اشاره دارد که از هیچ مایع به عنوان محیط آب بندی یا خنک کننده استفاده نمی کند و از مشکل آلودگی بخار روغن جلوگیری می کند. معمولاً برای استخراج خلاء خشن تجهیزات نیمه هادی استفاده می شود. پمپ های مولکولی می توانند به سطح خلاء بسیار بالایی برسند. پمپ های خشک و پمپ های مولکولی اغلب در ترکیب تجهیزات نیمه هادی برای پاسخگویی به نیازهای سطح خلاء مختلف استفاده می شوند.
کمپرسورها را می توان به کمپرسورهای هوا پیستون ، پیچ ، گریز از مرکز ، چرخشی و غیره تقسیم کرد.
با توجه به طرح های مختلف و اصول کار پمپ خلاء و کمپرسور ، پمپ های خلاء معمولاً نمی توانند جایگزین کمپرسورها شوند. اگرچه پمپ های خلاء می توانند فشار و تراکم گازها را کاهش دهند ، اما نمی توانند گازها را به حجم های کوچکتر و فشارهای بالاتر فشرده کنند. علاوه بر این ، به دلیل عملکرد محدود و ویژگی های کار پمپ های خلاء ، آنها به بهترین وجه مناسب برای کنترل گازهای با چگالی کم و محیط های کم فشار هستند.
بنابراین ، اگر گاز نیاز به فشرده سازی در حجم کوچکتر و فشار بالاتر داشته باشد ، باید از کمپرسور استفاده شود. در مقابل ، اگر گاز نیاز به استخراج داشته باشد و حالت خلاء تشکیل شود ، باید از پمپ خلاء استفاده شود.
اگرچه هر دوپمپ خلاء و کمپرسوردستگاه هایی هستند که برای پردازش گاز استفاده می شوند ، در اصل طراحی و کار تفاوت های زیادی وجود دارد. اگرچه پمپ خلاء می تواند فشار و چگالی گاز را کاهش دهد ، اما نمی تواند جایگزین کمپرسور شود ، به خصوص هنگامی که گاز نیاز به فشرده شدن به حجم کوچکتر و فشار بالاتر دارد.
